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Holo/Or Ltd. (Israel)
ホロオア社 (イスラエル) Holoor
1989年設立の回折型光学素子(DOE)、屈折型素子(ROE)メーカー
ISO9001認証
Holo/Or(Holoor)社は、画像処理、レーザ加工向けにマルチスポット、ホモジナイザ-、トップハット素子等の回折光学のビーム整形を得意とした製品を幅広く取り揃えております。
合成石英、サファイア、ZnSe、ゲルマニウム、ポリマーオングラス、ポリカーボネート、PMMAなどの硝材からDOEを製造することが可能です。また、193nmから10.6μmまでの波長、各用途に合わてDOEを設計しております。カスタム品の製造も1個から対応が可能です。

詳細は輸入代理店の太平貿易へお問い合わせください。
(光学機器部門)

回析型光学素子(DOE)

回折型光学素子(DOE)とは

DOE(Diffractive Optical Element)とは、デジタル回折光学系とも呼ばれ、光学素子の表面構造に微細なパターンを用いることで、光の位相を変化させる平板状の窓(ウインドウ)のような光学素子です。
基本的にDOEは単波長に合わせて設計しているため、レーザーシステムの用途に最適です。
また、標準的な屈折光学系(ROE)では実現できない光の形状やパターンを作り出すことが可能であることから、多くのアプリケーションや、あらゆる光学システムの性能を劇的に向上させることができです。

基本原理

DOEについて重要かつ基本なことは、光の波動を利用して位相のずれ(微細構造による位相差)を生じさせることで、光のビーム形状を操作することです。
DOEはレーザーなど光の波面を変化させるために、光学素子の表面構造の回折面の各点を異なる高さ(段差)にエッチングすることで、その点を通過するビームの部分に異なる遅延を生じさせます。これにより、任意の位相プロファイルを波面に重ねることができ、ビームスプリット、フラットトップなど、様々な光学機能を実現することができます。 なお、段差の数は効率に影響し、2段階(レベル)の高さを持つDOE(バイナリ)は、多段階(マルチレベル)の位相プロファイルに比べて一般的に効率が低くなります。

DOEの設計

Holo/Or(Holoor)社の特長の一つは、設計と生産のための設計プロセスです。1989年に回折光学素子メーカーとして創業して以来、様々なニーズや生産上の制約に対応するために、独自の設計ツールを構築してきました。
設計プロセスは、Gerchberg-Saxtonアルゴリズムの反復フーリエ変換(IFTA)アルコビリズムをベースに、独自の補正法と反復法を用いることで、段数や製造公差などの制約を考慮しながら、高い性能を実現しています。

製造工程

Holo/Or(Holoor)社のDOEは精密な半導体の製造方法により、比類のない角度精度を実現しています。 素子はフォトレジストでスピンコートされ、ダイレクトレーザーライターで露光された後、プラズマでドライエッチングされ、シャープな2段(バイナリ)の高さレベルが生成されます。
多段階(マルチレベル)によるDOE素子の場合は、この工程をN回繰り返した高さレベルを生成するため、2段のDOE素子に比べてコストが高くなる傾向があります。この方法ではフィーチャーサイズの公差に関わらずフィーチャーや回折周期の相対的な距離が維持されるため、角度公差がほとんどありません。
Holo/Or社ではISO7認証を取得したクリーンルームを保有し、温度と湿度を徹底的に管理してます。すべての機械が常に校正されているため、DOEの許容誤差は限りなく小さく、次光の均一性、0次光、回折効率などのパラメータで高いスペックを実現しています。

製品一覧 Holo/Or (Holoor)

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